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爱德华干式泵维修

简要描述:爱德华干式泵维修已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-12-28
  • 访  问  量:118
详细介绍
品牌其他品牌应用领域医疗卫生,石油,电子,综合
  iH1800爱德华干式泵维修参数:
 
  iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
 
  A59040946
 
  技术数据
 
  峰值速度                 1800 m3h-1
 
  1060 cfm
 
  30000 l min-1
 
  极限真空                 1 x 10-3 mbar
 
  7.5 x 10-4 Torr
 
  0.1 Pa
 
  典型轴封氮流量                 4 slm
 
  进气口连接                 ISO160
 
  出口连接                 NW40
 
  15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
 
  4 l min-1
 
  重量                         502 kg
 
  极限功率输入                 4.1 kW
 
  电机额定功率                 7.0 kW
 
  油容量                         1.6 l
 
  Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
 
  iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
 
  iH1800爱德华干式泵维修应用:
 
  负载锁
 
  输送
 
  计量
 
  平版印刷
 
  PVD 制程
 
  PVD 预清洁
 
  RTA
 
  剥离/灰化
 
  刻蚀
 
  植入源
 
  HDP CVD
 
  RTP
 
  SACVD
 
  MCVD
 
  PECVD
 
  LPCVD
 
  ALD
 
  东莞市上善真空设备有限公司专业维修爱德华干泵,爱德华半导体干泵,莱宝干泵,爱发科干泵,汉钟干泵,卡西雅玛干泵等干泵维修


 
  东莞市上善真空设备有限公司集生产销售、安装设计、维修保养真空设备、真空氦检漏仪及通用机械设备、精密机械及自动化设备等产品的企业。公司主要销售及维修真空泵品牌有:上善系列单双级真空泵、上善螺杆及罗茨真空泵、德国LEYB0LD莱宝真空泵、德国BUSCH普旭真空泵、德国RIETSCHLE里其乐真空泵、德国BECKER贝克真空泵、英国EDWARDS爱德华真空泵、日本ULVAC爱发科真空泵、德PFEIFFER普发真空泵、日本ORION好利旺真空泵、ATLAS阿特拉斯真空泵、美国AGILENT安捷伦真空泵等进口真空泵及真空系统。销售真空泵配件:真空泵油、油雾分离器、排气过滤器、叶片、碳精片、油过滤器、进气滤芯、空气总成、散热风扇、风扇叶、风扇罩、真空泵油管、油封、轴承、轴套、排气阀、逆止阀、气镇阀、视油镜、密封套件、联轴器、联轴器垫等配件材。 同时公司还经营电子材料:厌氧胶、SMT贴片胶、底部填充胶、COB灌封胶、LED固晶胶、陶瓷线路板灌封胶等。
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