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半导体真空阀门的分类,赶快来了解一下吧

发布时间:2022-09-05浏览:33次

  半导体真空阀门的类别还是比较多的,比如说按照真空进行分类的话有中高真空、工艺真空或是清扫真空等,同时还可以按照真空泵进行分类,除此之外还有按照真空系统进行分类的,下面就给大家简单介绍一下。
 
  半导体真空阀门的分类:
 
  1、按真空分类
 
  (1)生产真空为(中高真空):生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。
 
  (2)工艺真空(粗真空):工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵。
 
  (3)清扫真空(粗真空):清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清理或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机。
 
  2、按真空泵类型
 
  因不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等受限,但随着真空泵的研发生产技术提升,转而采用清洁;安全;耐磨;造价低;维修方便;性能稳定;振动小,噪音低等优势的干式真空泵,就满足半导体行业工艺要求。
 
  3、按真空系统
 
  半导体真空阀门配件及维修
 
  真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

 

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