半导体真空阀门的分类，赶快来了解一下吧

　　半导体真空阀门的类别还是比较多的，比如说按照真空进行分类的话有中高真空、工艺真空或是清扫真空等，同时还可以按照真空泵进行分类，除此之外还有按照真空系统进行分类的，下面就给大家简单介绍一下。
 

　　半导体真空阀门的分类：
 

　　1、按真空分类
 

　　(1)生产真空为(中高真空)：生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少，保持工作空间的洁净，主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。
 

　　(2)工艺真空(粗真空)：工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵。
 

　　(3)清扫真空(粗真空)：清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清理或输送，此类应用主要采用水环泵和多级离心风机。
 

　　2、按真空泵类型
 

　　因不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等受限，但随着真空泵的研发生产技术提升，转而采用清洁；安全；耐磨；造价低；维修方便；性能稳定；振动小，噪音低等优势的干式真空泵，就满足半导体行业工艺要求。
 

　　3、按真空系统
 

　　半导体真空阀门配件及维修
 

　　真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。