解析真空泵用真空计的工作原理

 　　真空泵用真空计是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。