真空设备真空计的分类及应用

 　真空镀膜设备真空装置自动控制中，往往要进行真空测量，由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同，因此，从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能，真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。